Resize-Rohre

Rasch Quarz (Germany) betreibt am Standort Langewiesen ein eigenes Resize-Zentrum für Quarzglasrohre. Auf leistungsstarken und modernen Glasdrehbänken produzieren unsere hochqualifizierten Mitarbeiter Quarzglasrohre mit Außendurchmessern von 60 mm bis 1000 mm und einer Wandstärke von bis zu 8 mm.

Zuvor im Direktzug hergestellte Feedstockrohre in verschiedenen Materialqualitiäten werden dazu im eigens entwickelten Zweistufenverfahren zu RSC-Rohren weiterverarbeitet. In einem Rotationsprozess erhitzen mehrere Gasflammen das Material vollflächig, wodurch sich das Quarzglasrohr aufgrund der Fliehkraft kontrolliert verformt. Somit sind wir in der Lage, individuelle, kundenspezifische Abmessungen hinsichtlich Außendurchmesser, Länge und Wandstärke variieren zu können. 

Auf Grund der hohen Reinheit, ihrer chemischen Beständigkeit und der typischen Temperaturbeständigkeit kommen derartige Quarzrohre vor allem in der Halbleiter- und Solarindustrie zum Einsatz. Dort werden die Rohre in sogenannten Vertikal- oder Horizontalöfen als Reaktionskammer für die Waferfertigung genutzt. Die Eignung unseres Quarzglases als Prozessrohr wird dann deutlich, wenn man die substantiellen Qualitätsanforderungen an Diffusionsprozesse oder Oxidationsprozesse unter Hochtemperatureinfluss betrachtet.


Telefon: +49 3677 46960

 

Anwendungsgebiete:

  • Rohre für Vertikalöfen oder Horizontalöfen zur Wafer-herstellung
  • Prozessrohre für Annealing-Verfahren
  • Reaktorkammer für LPCVD-, Oxidations- und Diffusionsprozesse
  • Chemische Anwendungen