Resizerohre

Unsere Resize-Quarzglasrohre bestehen aus hochreinem Quarzglas und zeichnen sich durch ihre ausgezeichneten optischen und thermischen Eigenschaften aus.

Auf Grund der hohen Reinheit, ihrer chemischen Beständigkeit und der typischen Temperaturbeständigkeit kommen derartige Quarzrohre vor allem in der Halbleiter- und Solarindustrie zum Einsatz. Dort werden die Rohre in sogenannten Vertikal- oder Horizontalöfen als Reaktionskammer für die Waferfertigung genutzt. Die Eignung unseres Quarzglases als Prozessrohr wird dann deutlich, wenn man die substantiellen Qualitätsanforderungen an Diffusionsprozesse oder Oxidationsprozesse unter Hochtemperatureinfluss betrachtet.

Zuvor im Direktzug hergestellte Feedstockrohre in verschiedenen Materialqualitäten werden dazu im eigens entwickelten Zweistufenverfahren zu RSC-Rohren weiterverarbeitet. In einem Rotationsprozess erhitzen mehrere Gasflammen das Material vollflächig, wodurch sich das Quarzglasrohr aufgrund der Fliehkraft kontrolliert verformt. Somit sind wir in der Lage, individuelle, kundenspezifische Abmessungen hinsichtlich Außendurchmesser, Länge und Wandstärke variieren zu können.

Quarzglasröhren bieten eine hohe chemische Beständigkeit, extreme Temperaturresistenz und exzellente Lichtdurchlässigkeit im UV- und sichtbaren Bereich. Dadurch eignen sie sich ideal für anspruchsvolle Anwendungen in der Industrie, wo herkömmliche Materialien versagen würden.